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重生2010:我加点做大佬 第535节 (第5/7页)
拉过来太麻烦。” 陈河宇笑着道。 尽管舞台能放得下,却根本没必要! 孟老微微颔首,笑了笑没说什么,转而把目光落在舞台上,等待何婷波的下一步cao作。 “众所周知,euv光刻机的三大核心技术是euv光学镜头、euv光刻光源和双工件台系统,想来大家都很好奇,山海微电的这台烛龙10800,是否使用了其他国家的专利技术和零配件? 在这里,我明确且负责的宣布,哪怕是一个螺栓配件,我们都坚持选用国产供应商。 四千多人的科研团队,经过两年不懈努力,终于造出了100%自主研发的商业化光刻机设备,适用于7纳米和5纳米工艺节点的芯片制造。” 何婷波语气平淡道。 说罢,大手一掀,丝滑的红绸应声跌落! 露出一个通体雪白的长方体工作台,对光刻机结构比较了解的观众,快速辨认出来,这是一组曝光台。 它又叫测量台,是承载硅晶圆的工作台,用来支撑和定位硅晶片,在光刻过程中,曝光台将硅片位置定位到投影光学系统下方,以便接受光刻胶的投影。 大屏幕上的画面随之转动,利用数字动画技术,展示一台更全面立体的烛龙10800 euv光刻机。 “由于场地限制,我们只拉来了一组曝光台,但它的结构同样复杂精密,由多个部件组成,譬如: 真空吸盘,在曝光之前,通过负压吸附硅片并使之牢固地固定在曝光台上,防止硅片在曝光过程中移动或摆动。 气氛控制系统,用来控制曝光台工作区的环境,确保光
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